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黃河空分順利通過(guò)第三批國(guó)家專(zhuān)精特新“小巨人”企業(yè)復(fù)核
? ? 近年來(lái)，黃河空分致力于先進(jìn)工藝研發(fā)運(yùn)用和專(zhuān)利技術(shù)高端裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展，以科技創(chuàng)新賦能，加快發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，完善科技創(chuàng)新體制機(jī)制，全力加速推動(dòng)科技創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化。未來(lái)，黃河空分將繼續(xù)秉承專(zhuān)精特新“小巨人”的“專(zhuān)業(yè)化、精細(xì)化、特色化”內(nèi)涵，緊密?chē)@行業(yè)與市場(chǎng)的需求動(dòng)態(tài)，持續(xù)深耕專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域，鍛長(zhǎng)板、補(bǔ)短板，通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)品創(chuàng)新、服務(wù)創(chuàng)新助推數(shù)字化轉(zhuǎn)型發(fā)展，為行業(yè)發(fā)展和強(qiáng)國(guó)建設(shè)貢獻(xiàn)更大力量。
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如何順好工業(yè)氣體這口“氣”
2024-05-09
? ? ? ? 提到氣體，大多數(shù)人會(huì)首先想到空氣、氧氣等，它們來(lái)得容易又便宜。但是，有些氣體卻價(jià)值連城，我們每年甚至要花費(fèi)巨額資金去國(guó)外購(gòu)買(mǎi)，這就是工業(yè)氣體，包括氪氣、氬氣。它們是現(xiàn)代工業(yè)不可或缺的基礎(chǔ)原料，廣泛應(yīng)用于鋼鐵、冶金、石油、化工、電子、醫(yī)療等重要行業(yè)，發(fā)揮著強(qiáng)有力的戰(zhàn)略支撐作用，乃至被稱(chēng)為“工業(yè)的血液”。我國(guó)的工業(yè)氣體長(zhǎng)期依賴(lài)德國(guó)、美國(guó)和法國(guó)，生產(chǎn)集成電路所需的特種氣體中，國(guó)產(chǎn)率只有20%。面對(duì)我國(guó)工業(yè)血液的“貧血”問(wèn)題，我們?cè)撊绾巫叱隼Ь常?br/>
“工業(yè)的血液”
? ? ? ? 工業(yè)氣體是指在工業(yè)生產(chǎn)中所使用的氣體，可以作為生產(chǎn)原料、燃料、保護(hù)氣、輸送氣、驅(qū)動(dòng)氣、換熱介質(zhì)等。在高精尖領(lǐng)域中，氧氣和氫氣可作為火箭的燃料，氦氣是醫(yī)院核磁共振儀的超導(dǎo)體冷卻劑，氖氣是芯片光刻機(jī)光源的工作氣體。工業(yè)氣體的種類(lèi)非常豐富，多達(dá)數(shù)百種，可分為大宗氣體、特種氣體兩大類(lèi)。大宗氣體是指用量大、使用范圍廣的氣體，比如從空氣中分離得到的氧氣、氮?dú)?、氬氣以及化學(xué)合成的氨氣、乙烯、丙烯、乙炔；特種氣體是指被應(yīng)用在特定領(lǐng)域?qū)兌?、品質(zhì)、性能有特殊要求的氣體，比如芯片制造過(guò)程中用到的各種高純氣體，以及在國(guó)防、醫(yī)療、食品等領(lǐng)域用到的特殊氣體?？梢?jiàn)，工業(yè)氣體滲透到工業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié)，發(fā)揮了不可替代的作用，因此被稱(chēng)為“工業(yè)的血液”。工業(yè)氣體究竟有多重要？以半導(dǎo)體行業(yè)為例，芯片的制造會(huì)用到光刻機(jī)，光刻是用特定波長(zhǎng)的激光讓光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，通過(guò)曝光和顯影將設(shè)計(jì)在掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上的過(guò)程。特定的波長(zhǎng)是在常用的深紫外DUV光刻機(jī)中通過(guò)準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)生的，這種激光器內(nèi)充填了97%的氖氣。
? ? ? ? 全球70%的氖氣由烏克蘭供應(yīng)，但烏克蘭危機(jī)導(dǎo)致氖氣停產(chǎn)，供應(yīng)短缺，價(jià)格暴漲。氖氣雖然存在于空氣中，但只占0.0018%，它的制取離不開(kāi)空氣分離技術(shù)。
大型空氣分離裝置舉足輕重
? ? ? ? 空氣分離簡(jiǎn)稱(chēng)“空分”，是利用化工分離技術(shù)將空氣中的各個(gè)成分分離開(kāi)來(lái)獲得各種氣體產(chǎn)品?？辗旨夹g(shù)最初的目的并不是為了得到氖氣，而是為了生產(chǎn)工業(yè)中大量使用的氧氣和氮?dú)狻?903年，德國(guó)林德設(shè)計(jì)制成世界上第一臺(tái)工業(yè)用的10立方米/小時(shí)制氧機(jī)，至今已過(guò)百年。長(zhǎng)期以來(lái)世界空分市場(chǎng)被德、法、美等國(guó)的四大氣體公司壟斷。
? ? ? ? 空分的原理并不復(fù)雜，難點(diǎn)在于空氣分離的設(shè)備，尤其是大型、特大型的空分設(shè)備。大型空分裝置的制造能力是衡量一個(gè)國(guó)家空分技術(shù)水平的重要標(biāo)志。我國(guó)的空分產(chǎn)業(yè)是從20世紀(jì)50年代起步的，經(jīng)過(guò)摸索、合作、自主研發(fā)等階段，直到2000年前后，得益于鋼鐵、煤化工等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，我國(guó)大型、特大型空分成套技術(shù)與裝備才有了質(zhì)的飛躍。
? ? ? ? 長(zhǎng)期以來(lái)，大型的空分設(shè)備基本上都由國(guó)外公司壟斷。近年來(lái)，得益于煤化工的快速發(fā)展，我國(guó)空分設(shè)備迎來(lái)了轉(zhuǎn)機(jī)。我國(guó)研制的十萬(wàn)等級(jí)（100000立方米/小時(shí)）空分裝置，就是我國(guó)重大技術(shù)裝備國(guó)產(chǎn)化里程碑式的一個(gè)成就。國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的空分設(shè)備不僅產(chǎn)氧質(zhì)量好，而且能耗低、生產(chǎn)成本低、性能優(yōu)，特別是長(zhǎng)周期穩(wěn)定運(yùn)行遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了國(guó)外，成為我們的“大國(guó)重器”。大型空分技術(shù)的進(jìn)步也為我國(guó)氖氣的自主生產(chǎn)創(chuàng)造了條件，其他幾種稀有氣體也被附帶提取了出來(lái)，包括貴如黃金的氪氣、氙氣等。目前我國(guó)占全球氖氣市場(chǎng)份額的40%，超過(guò)了烏克蘭，有力保障了我國(guó)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。
半導(dǎo)體生產(chǎn)要用到上百種氣體
? ? ? ? 工業(yè)氣體中的電子特氣，包括氙氣、氪氣、含氟氣體等，是集成電路制造、半導(dǎo)體顯示、半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中必不可少的關(guān)鍵材料。生產(chǎn)一枚芯片，需要100多種電子特氣，而我國(guó)僅能生產(chǎn)約20%的品種，其余品種均依賴(lài)進(jìn)口，有的品種1千克售價(jià)高達(dá)幾萬(wàn)元人民幣。芯片的生產(chǎn)過(guò)程非常復(fù)雜，從生產(chǎn)多晶硅開(kāi)始，到拋光、外延、擴(kuò)散、成膜、沉積、刻蝕、摻雜、電鍍、清洗、分裝等環(huán)節(jié)，幾乎都離不開(kāi)電子特氣的參與，電子特氣是芯片制造中的第二大耗材。
? ? ? ? 按照所處的工序，電子特氣可以分為外延氣、沉積氣、刻蝕氣、摻雜氣等，每一類(lèi)都包含很多品種。沉積氣是以硅烷等含硅氣體為主，硅烷分解后可以在晶圓表面形成需要的薄膜；刻蝕氣常用的是四氟化碳、八氟環(huán)丁烷等含氟的氣體，它的作用是對(duì)經(jīng)過(guò)光刻的硅片進(jìn)行雕刻得到特定結(jié)構(gòu)的溝槽；摻雜氣是含有砷、硼、磷等元素的氣體，用于向硅片中摻入一些元素形成半導(dǎo)體的器件。氣體是怎么在刻蝕環(huán)節(jié)中起作用的？目前主流的刻蝕方法是干法刻蝕，它包括化學(xué)刻蝕和物理刻蝕，其中的化學(xué)刻蝕用到的是含氟氣體，基本原理是利用等離子體發(fā)生裝置把含氟氣體電離成氟的自由基，由氟的自由基與硅結(jié)合起來(lái)生成氣態(tài)的四氟化硅，而四氟化硅容易被抽走不會(huì)殘留，這樣就可以在硅片上雕刻出一道道特定結(jié)構(gòu)的溝槽。
電子特氣生產(chǎn)技術(shù)門(mén)檻極高
? ? ? ? 電子特氣的“特”，就特在純凈度要求非常高，純度指的是主成分的含量越高越好，潔凈度指的是雜質(zhì)的殘留量越低越好。對(duì)于90納米制程純度要求在5到6個(gè)N，這里N指的是純度百分比中9的個(gè)數(shù)。同時(shí)雜質(zhì)要求小于10的負(fù)9次方，也就是十億分之一。28納米甚至7納米、5納米制程對(duì)電子特氣的純度要求就更高了，金屬元素要凈化到萬(wàn)億分之一，相當(dāng)于20個(gè)標(biāo)準(zhǔn)游泳池的水里雜質(zhì)的量不能超過(guò)一滴水的量。為什么要如此苛刻的純度呢？這是因?yàn)闃O微量的雜質(zhì)都有可能導(dǎo)致產(chǎn)品出現(xiàn)重大缺陷，比如水分、氧氣等雜質(zhì)會(huì)導(dǎo)致氧化金屬和顆粒物，會(huì)導(dǎo)致短路以及線(xiàn)路的損壞。從28納米到7納米，產(chǎn)品的金屬雜質(zhì)必須下降100倍，污染粒子的體積必須縮小到4倍以下。隨著工藝制程發(fā)展到10納米以下，生產(chǎn)過(guò)程對(duì)于雜質(zhì)過(guò)濾、潔凈度的要求也會(huì)越來(lái)越嚴(yán)格。
? ? ? ? 這么苛刻的要求導(dǎo)致電子特氣生產(chǎn)技術(shù)的門(mén)檻非常高，需要長(zhǎng)期的積累和研發(fā)投入。同時(shí)生產(chǎn)過(guò)程要用到大量精密儀器設(shè)備，這是第一道難關(guān)。第二道難關(guān)是資質(zhì)壁壘，電子特氣品質(zhì)對(duì)電氣產(chǎn)品性能影響大，一旦質(zhì)量出現(xiàn)問(wèn)題下游客戶(hù)將損失巨大。為保持氣體供應(yīng)的穩(wěn)定，客戶(hù)在與氣體供應(yīng)商建立合作關(guān)系以后，不會(huì)輕易地更換氣體供應(yīng)商，如果想進(jìn)入就必須經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的審查和認(rèn)證，這個(gè)周期一般要長(zhǎng)達(dá)2到3年。由于發(fā)達(dá)國(guó)家電子信息產(chǎn)業(yè)的起步早，在技術(shù)、資金、人才等方面有先發(fā)優(yōu)勢(shì)，我國(guó)不得不長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口，85%以上的市場(chǎng)份額被美、法、德、日等國(guó)的企業(yè)所壟斷，特別是超高純特氣更是幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口，賣(mài)不賣(mài)、賣(mài)多少全憑他們說(shuō)了算。所以，我國(guó)必須盡快開(kāi)發(fā)出關(guān)鍵電子特氣的國(guó)產(chǎn)化技術(shù)化解“卡脖子”的風(fēng)險(xiǎn)，把國(guó)民經(jīng)濟(jì)的安全命脈牢牢地掌握在自己手中。從技術(shù)層面而言，我國(guó)電子氣體行業(yè)需要在以下幾個(gè)方面加以突破：一是凈化材料，氣體終端凈化器的核心材料，如凈化用的催化劑、吸附劑和膜材料等；二是新產(chǎn)品、新技術(shù)，電子特氣更新?lián)Q代快，新產(chǎn)品的研發(fā)、混配技術(shù)跟不上國(guó)外的研發(fā)速度，國(guó)內(nèi)的三氟化氮和六氟化硫等電子特氣產(chǎn)品，目前國(guó)際上已逐漸淘汰；三是設(shè)備方面，與高純氣體接觸的器材必須滿(mǎn)足潔凈的標(biāo)準(zhǔn)，否則釋放出來(lái)的微量雜質(zhì)就會(huì)污染電子氣體，生產(chǎn)用的容器、管道閥門(mén)等目前還需要大量進(jìn)口，亟需我們盡快研發(fā)；四是檢測(cè)技術(shù)方面，分析檢測(cè)是品質(zhì)保證的關(guān)鍵，部分純度指標(biāo)檢測(cè)技術(shù)有一定的基礎(chǔ)，但是在超痕量雜質(zhì)高精度分析檢測(cè)技術(shù)以及一些專(zhuān)用的儀器方面與國(guó)外差距巨大。近年來(lái)，我國(guó)一些企業(yè)經(jīng)過(guò)多年的自主研發(fā)，部分電子特氣產(chǎn)品已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并且通過(guò)了國(guó)際龍頭企業(yè)的認(rèn)證，今后將會(huì)有更多的產(chǎn)品陸續(xù)進(jìn)入全球半導(dǎo)體的供應(yīng)鏈體系。
宇宙含量第二的地球珍稀氣體
? ? ? ? 氦氣是宇宙中含量第二高的元素，但在地球上卻相當(dāng)稀缺。氦氣無(wú)色無(wú)味，非常輕又有惰性，一般狀態(tài)下不會(huì)和其他物質(zhì)反應(yīng)，很安全，是一種關(guān)系國(guó)家安全、高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略性氣體，廣泛應(yīng)用于深海潛水、低溫技術(shù)、火箭燃料、半導(dǎo)體制造、核磁共振等領(lǐng)域，有“黃金氣體”之譽(yù)。比如，在半導(dǎo)體的制程里面，它可以摻到刻蝕氣體里面來(lái)清洗，它的導(dǎo)熱系數(shù)也高，可以把設(shè)備的熱量及時(shí)地移走，不至于產(chǎn)生過(guò)熱，提高了設(shè)備的安全性。航空航天發(fā)動(dòng)機(jī)的燃料和氧化劑的輸送系統(tǒng)都需要有氦氣的密切參與。此外，宇宙飛船、液體燃料導(dǎo)彈等在加注燃料之前必須使用氦氣清洗和增壓，增壓里面的液氫罐和管道系統(tǒng)在太空艙上各種氣動(dòng)閥門(mén)的驅(qū)動(dòng)氣體也是氦氣。在核電領(lǐng)域，利用氦氣導(dǎo)熱系數(shù)高的特點(diǎn)，可以作為最先進(jìn)的氣冷式核反應(yīng)堆的冷卻介質(zhì)。氦氣在芯片和光纖的生產(chǎn)中也大有用武之地，利用它極不活潑的化學(xué)性質(zhì)可用作生產(chǎn)過(guò)程中的保護(hù)氣，利用它的高導(dǎo)熱性和散熱能力可以實(shí)現(xiàn)零部件的快速冷卻，提高生產(chǎn)效率，并減少芯片和光纖的質(zhì)量缺陷，每生產(chǎn)100公里的光纖就需要2個(gè)立方米的氦氣。毫不夸張地說(shuō)，如果沒(méi)有氦氣，醫(yī)院的核磁共振檢查將無(wú)法進(jìn)行，宇宙飛船也無(wú)法升空。
? ? ? ? 氦氣密度極小，地球引力不足以束縛它，因此氦在空氣中的含量?jī)H有百萬(wàn)分之4.6，所以用空分提氦是非常不經(jīng)濟(jì)的。氦氣還有一部分與天然氣伴生，儲(chǔ)藏在地殼深處，天然氣中氦的含量大約是空氣的幾十到上萬(wàn)倍，是我們目前氦氣最主要的來(lái)源。全球氦氣總儲(chǔ)量預(yù)估為484億立方米，分布非常不均勻，主要集中在美國(guó)、阿爾及利亞、俄羅斯等國(guó)家。其中，美國(guó)氦氣儲(chǔ)量大約171億立方米，全球占比高達(dá)40%，而我國(guó)的氦氣儲(chǔ)量只有2%，導(dǎo)致工業(yè)應(yīng)用中95%以上的氦氣都依靠進(jìn)口，而且我國(guó)天然氣中氦的含量很低，平均只有0.04%，是美國(guó)的1/20，所以提取技術(shù)難度更大，成本也會(huì)更高。這對(duì)我們國(guó)家的戰(zhàn)略安全構(gòu)成了極大的威脅。二戰(zhàn)期間，德國(guó)興登堡號(hào)飛艇爆炸就是氦氣資源受制于人的一個(gè)慘痛教訓(xùn)。
突破戰(zhàn)略氣體“卡脖子”危機(jī)
? ? ? ? 由于我國(guó)天然氣的含氦量比較低，美國(guó)廣泛采用的深冷法工藝并不適用我們。面對(duì)巨大的工業(yè)需求，要想避免氦氣被“卡脖子”，我們必須自力更生，結(jié)合自身特點(diǎn)開(kāi)發(fā)新的生產(chǎn)技術(shù)，自己生產(chǎn)氦氣。天然氣的成分比較復(fù)雜，除了甲烷，還有氮?dú)?、氫氣、二氧化碳、水蒸氣等，想要直接得到氦氣，就必須將膜分離、常溫變壓吸附、低溫吸附等新型分離技術(shù)和低溫精餾技術(shù)耦合起來(lái)并用。膜分離的原理和過(guò)濾非常相似，利用不同分子的大小差異讓小的分子通過(guò)，大的分子截留，氦氣的分子是最小的，可以通過(guò)膜孔，而甲烷的分子比較大，無(wú)法通過(guò)膜孔，因此可以用膜分離來(lái)對(duì)天然氣中的氦進(jìn)行初步的提濃，把含量從0.1%以下提到26%。吸附分離的關(guān)鍵，是通過(guò)采用對(duì)氮?dú)?、甲烷等雜質(zhì)氣體有比較強(qiáng)吸附能力和脫除能力的吸附劑，把氦氣的含量提高到99%，甚至99.999%以上。另一條比較經(jīng)濟(jì)的工藝路線(xiàn)，就是在生產(chǎn)液化天然氣（LNG）的同時(shí)利用其副產(chǎn)的閃蒸氣（BOG）來(lái)生產(chǎn)氦氣。氦氣的沸點(diǎn)低，在天然氣的液化過(guò)程中自然被富集到氣相當(dāng)中，從而得到提濃，有利于后續(xù)的加工。2020年國(guó)產(chǎn)首套BOG提氦裝置在寧夏鹽池成功示范運(yùn)行，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白；2021年在內(nèi)蒙古萬(wàn)瑞建成了年產(chǎn)50萬(wàn)方氦氣國(guó)內(nèi)最大的LNG聯(lián)產(chǎn)提氦裝置；2022年在重慶建成以低溫吸附為核心的LNG氦氣提純項(xiàng)目，可以年產(chǎn)99.999%的氦氣20噸以上。這些提氦裝置的開(kāi)發(fā)和投運(yùn)有效地緩解了我國(guó)氦氣供應(yīng)的緊張局面，也部分緩解了國(guó)家戰(zhàn)略氣體資源的“卡脖子”問(wèn)題。
? ? ? ? 未來(lái)，我們工業(yè)氣體要面向新型工業(yè)化建設(shè)的任務(wù)，聚焦高端化、智能化、綠色化，找準(zhǔn)“卡脖子”“掉鏈子”的薄弱環(huán)節(jié)，補(bǔ)短板、鍛長(zhǎng)板，提升產(chǎn)業(yè)體系自主可控能力，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新向原始創(chuàng)新和創(chuàng)新引領(lǐng)轉(zhuǎn)變，在新征程中順好工業(yè)這口“氣”，進(jìn)而揚(yáng)眉吐氣。
（任其龍，中國(guó)工程院院士，浙江大學(xué)教授）
來(lái)源：學(xué)習(xí)時(shí)報(bào)
? ? ? ? 提到氣體，大多數(shù)人會(huì)首先想到空氣、氧氣等，它們來(lái)得容易又便宜。但是，有些氣體卻價(jià)值連城，我們每年甚至要花費(fèi)巨額資金去國(guó)外購(gòu)買(mǎi)，這就是工業(yè)氣體，包括氪氣、氬氣。它們是現(xiàn)代工業(yè)不可或缺的基礎(chǔ)原料，廣泛應(yīng)用于鋼鐵、冶金、石油、化工、電子、醫(yī)療等重要行業(yè)，發(fā)揮著強(qiáng)有力的戰(zhàn)略支撐作用，乃至被稱(chēng)為“工業(yè)的血液”。我國(guó)的工業(yè)氣體長(zhǎng)期依賴(lài)德國(guó)、美國(guó)和法國(guó)，生產(chǎn)集成電路所需的特種氣體中，國(guó)產(chǎn)率只有20%。面對(duì)我國(guó)工業(yè)血液的“貧血”問(wèn)題，我們?cè)撊绾巫叱隼Ь常?br/>
“工業(yè)的血液”
? ? ? ? 工業(yè)氣體是指在工業(yè)生產(chǎn)中所使用的氣體，可以作為生產(chǎn)原料、燃料、保護(hù)氣、輸送氣、驅(qū)動(dòng)氣、換熱介質(zhì)等。在高精尖領(lǐng)域中，氧氣和氫氣可作為火箭的燃料，氦氣是醫(yī)院核磁共振儀的超導(dǎo)體冷卻劑，氖氣是芯片光刻機(jī)光源的工作氣體。工業(yè)氣體的種類(lèi)非常豐富，多達(dá)數(shù)百種，可分為大宗氣體、特種氣體兩大類(lèi)。大宗氣體是指用量大、使用范圍廣的氣體，比如從空氣中分離得到的氧氣、氮?dú)?、氬氣以及化學(xué)合成的氨氣、乙烯、丙烯、乙炔；特種氣體是指被應(yīng)用在特定領(lǐng)域?qū)兌?、品質(zhì)、性能有特殊要求的氣體，比如芯片制造過(guò)程中用到的各種高純氣體，以及在國(guó)防、醫(yī)療、食品等領(lǐng)域用到的特殊氣體?？梢?jiàn)，工業(yè)氣體滲透到工業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié)，發(fā)揮了不可替代的作用，因此被稱(chēng)為“工業(yè)的血液”。工業(yè)氣體究竟有多重要？以半導(dǎo)體行業(yè)為例，芯片的制造會(huì)用到光刻機(jī)，光刻是用特定波長(zhǎng)的激光讓光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，通過(guò)曝光和顯影將設(shè)計(jì)在掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上的過(guò)程。特定的波長(zhǎng)是在常用的深紫外DUV光刻機(jī)中通過(guò)準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)生的，這種激光器內(nèi)充填了97%的氖氣。
? ? ? ? 全球70%的氖氣由烏克蘭供應(yīng)，但烏克蘭危機(jī)導(dǎo)致氖氣停產(chǎn)，供應(yīng)短缺，價(jià)格暴漲。氖氣雖然存在于空氣中，但只占0.0018%，它的制取離不開(kāi)空氣分離技術(shù)。
大型空氣分離裝置舉足輕重
? ? ? ? 空氣分離簡(jiǎn)稱(chēng)“空分”，是利用化工分離技術(shù)將空氣中的各個(gè)成分分離開(kāi)來(lái)獲得各種氣體產(chǎn)品?？辗旨夹g(shù)最初的目的并不是為了得到氖氣，而是為了生產(chǎn)工業(yè)中大量使用的氧氣和氮?dú)狻?903年，德國(guó)林德設(shè)計(jì)制成世界上第一臺(tái)工業(yè)用的10立方米/小時(shí)制氧機(jī)，至今已過(guò)百年。長(zhǎng)期以來(lái)世界空分市場(chǎng)被德、法、美等國(guó)的四大氣體公司壟斷。
? ? ? ? 空分的原理并不復(fù)雜，難點(diǎn)在于空氣分離的設(shè)備，尤其是大型、特大型的空分設(shè)備。大型空分裝置的制造能力是衡量一個(gè)國(guó)家空分技術(shù)水平的重要標(biāo)志。我國(guó)的空分產(chǎn)業(yè)是從20世紀(jì)50年代起步的，經(jīng)過(guò)摸索、合作、自主研發(fā)等階段，直到2000年前后，得益于鋼鐵、煤化工等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，我國(guó)大型、特大型空分成套技術(shù)與裝備才有了質(zhì)的飛躍。
? ? ? ? 長(zhǎng)期以來(lái)，大型的空分設(shè)備基本上都由國(guó)外公司壟斷。近年來(lái)，得益于煤化工的快速發(fā)展，我國(guó)空分設(shè)備迎來(lái)了轉(zhuǎn)機(jī)。我國(guó)研制的十萬(wàn)等級(jí)（100000立方米/小時(shí)）空分裝置，就是我國(guó)重大技術(shù)裝備國(guó)產(chǎn)化里程碑式的一個(gè)成就。國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的空分設(shè)備不僅產(chǎn)氧質(zhì)量好，而且能耗低、生產(chǎn)成本低、性能優(yōu)，特別是長(zhǎng)周期穩(wěn)定運(yùn)行遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了國(guó)外，成為我們的“大國(guó)重器”。大型空分技術(shù)的進(jìn)步也為我國(guó)氖氣的自主生產(chǎn)創(chuàng)造了條件，其他幾種稀有氣體也被附帶提取了出來(lái)，包括貴如黃金的氪氣、氙氣等。目前我國(guó)占全球氖氣市場(chǎng)份額的40%，超過(guò)了烏克蘭，有力保障了我國(guó)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。
半導(dǎo)體生產(chǎn)要用到上百種氣體
? ? ? ? 工業(yè)氣體中的電子特氣，包括氙氣、氪氣、含氟氣體等，是集成電路制造、半導(dǎo)體顯示、半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中必不可少的關(guān)鍵材料。生產(chǎn)一枚芯片，需要100多種電子特氣，而我國(guó)僅能生產(chǎn)約20%的品種，其余品種均依賴(lài)進(jìn)口，有的品種1千克售價(jià)高達(dá)幾萬(wàn)元人民幣。芯片的生產(chǎn)過(guò)程非常復(fù)雜，從生產(chǎn)多晶硅開(kāi)始，到拋光、外延、擴(kuò)散、成膜、沉積、刻蝕、摻雜、電鍍、清洗、分裝等環(huán)節(jié)，幾乎都離不開(kāi)電子特氣的參與，電子特氣是芯片制造中的第二大耗材。
? ? ? ? 按照所處的工序，電子特氣可以分為外延氣、沉積氣、刻蝕氣、摻雜氣等，每一類(lèi)都包含很多品種。沉積氣是以硅烷等含硅氣體為主，硅烷分解后可以在晶圓表面形成需要的薄膜；刻蝕氣常用的是四氟化碳、八氟環(huán)丁烷等含氟的氣體，它的作用是對(duì)經(jīng)過(guò)光刻的硅片進(jìn)行雕刻得到特定結(jié)構(gòu)的溝槽；摻雜氣是含有砷、硼、磷等元素的氣體，用于向硅片中摻入一些元素形成半導(dǎo)體的器件。氣體是怎么在刻蝕環(huán)節(jié)中起作用的？目前主流的刻蝕方法是干法刻蝕，它包括化學(xué)刻蝕和物理刻蝕，其中的化學(xué)刻蝕用到的是含氟氣體，基本原理是利用等離子體發(fā)生裝置把含氟氣體電離成氟的自由基，由氟的自由基與硅結(jié)合起來(lái)生成氣態(tài)的四氟化硅，而四氟化硅容易被抽走不會(huì)殘留，這樣就可以在硅片上雕刻出一道道特定結(jié)構(gòu)的溝槽。
電子特氣生產(chǎn)技術(shù)門(mén)檻極高
? ? ? ? 電子特氣的“特”，就特在純凈度要求非常高，純度指的是主成分的含量越高越好，潔凈度指的是雜質(zhì)的殘留量越低越好。對(duì)于90納米制程純度要求在5到6個(gè)N，這里N指的是純度百分比中9的個(gè)數(shù)。同時(shí)雜質(zhì)要求小于10的負(fù)9次方，也就是十億分之一。28納米甚至7納米、5納米制程對(duì)電子特氣的純度要求就更高了，金屬元素要凈化到萬(wàn)億分之一，相當(dāng)于20個(gè)標(biāo)準(zhǔn)游泳池的水里雜質(zhì)的量不能超過(guò)一滴水的量。為什么要如此苛刻的純度呢？這是因?yàn)闃O微量的雜質(zhì)都有可能導(dǎo)致產(chǎn)品出現(xiàn)重大缺陷，比如水分、氧氣等雜質(zhì)會(huì)導(dǎo)致氧化金屬和顆粒物，會(huì)導(dǎo)致短路以及線(xiàn)路的損壞。從28納米到7納米，產(chǎn)品的金屬雜質(zhì)必須下降100倍，污染粒子的體積必須縮小到4倍以下。隨著工藝制程發(fā)展到10納米以下，生產(chǎn)過(guò)程對(duì)于雜質(zhì)過(guò)濾、潔凈度的要求也會(huì)越來(lái)越嚴(yán)格。
? ? ? ? 這么苛刻的要求導(dǎo)致電子特氣生產(chǎn)技術(shù)的門(mén)檻非常高，需要長(zhǎng)期的積累和研發(fā)投入。同時(shí)生產(chǎn)過(guò)程要用到大量精密儀器設(shè)備，這是第一道難關(guān)。第二道難關(guān)是資質(zhì)壁壘，電子特氣品質(zhì)對(duì)電氣產(chǎn)品性能影響大，一旦質(zhì)量出現(xiàn)問(wèn)題下游客戶(hù)將損失巨大。為保持氣體供應(yīng)的穩(wěn)定，客戶(hù)在與氣體供應(yīng)商建立合作關(guān)系以后，不會(huì)輕易地更換氣體供應(yīng)商，如果想進(jìn)入就必須經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的審查和認(rèn)證，這個(gè)周期一般要長(zhǎng)達(dá)2到3年。由于發(fā)達(dá)國(guó)家電子信息產(chǎn)業(yè)的起步早，在技術(shù)、資金、人才等方面有先發(fā)優(yōu)勢(shì)，我國(guó)不得不長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口，85%以上的市場(chǎng)份額被美、法、德、日等國(guó)的企業(yè)所壟斷，特別是超高純特氣更是幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口，賣(mài)不賣(mài)、賣(mài)多少全憑他們說(shuō)了算。所以，我國(guó)必須盡快開(kāi)發(fā)出關(guān)鍵電子特氣的國(guó)產(chǎn)化技術(shù)化解“卡脖子”的風(fēng)險(xiǎn)，把國(guó)民經(jīng)濟(jì)的安全命脈牢牢地掌握在自己手中。從技術(shù)層面而言，我國(guó)電子氣體行業(yè)需要在以下幾個(gè)方面加以突破：一是凈化材料，氣體終端凈化器的核心材料，如凈化用的催化劑、吸附劑和膜材料等；二是新產(chǎn)品、新技術(shù)，電子特氣更新?lián)Q代快，新產(chǎn)品的研發(fā)、混配技術(shù)跟不上國(guó)外的研發(fā)速度，國(guó)內(nèi)的三氟化氮和六氟化硫等電子特氣產(chǎn)品，目前國(guó)際上已逐漸淘汰；三是設(shè)備方面，與高純氣體接觸的器材必須滿(mǎn)足潔凈的標(biāo)準(zhǔn)，否則釋放出來(lái)的微量雜質(zhì)就會(huì)污染電子氣體，生產(chǎn)用的容器、管道閥門(mén)等目前還需要大量進(jìn)口，亟需我們盡快研發(fā)；四是檢測(cè)技術(shù)方面，分析檢測(cè)是品質(zhì)保證的關(guān)鍵，部分純度指標(biāo)檢測(cè)技術(shù)有一定的基礎(chǔ)，但是在超痕量雜質(zhì)高精度分析檢測(cè)技術(shù)以及一些專(zhuān)用的儀器方面與國(guó)外差距巨大。近年來(lái)，我國(guó)一些企業(yè)經(jīng)過(guò)多年的自主研發(fā)，部分電子特氣產(chǎn)品已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并且通過(guò)了國(guó)際龍頭企業(yè)的認(rèn)證，今后將會(huì)有更多的產(chǎn)品陸續(xù)進(jìn)入全球半導(dǎo)體的供應(yīng)鏈體系。
宇宙含量第二的地球珍稀氣體
? ? ? ? 氦氣是宇宙中含量第二高的元素，但在地球上卻相當(dāng)稀缺。氦氣無(wú)色無(wú)味，非常輕又有惰性，一般狀態(tài)下不會(huì)和其他物質(zhì)反應(yīng)，很安全，是一種關(guān)系國(guó)家安全、高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略性氣體，廣泛應(yīng)用于深海潛水、低溫技術(shù)、火箭燃料、半導(dǎo)體制造、核磁共振等領(lǐng)域，有“黃金氣體”之譽(yù)。比如，在半導(dǎo)體的制程里面，它可以摻到刻蝕氣體里面來(lái)清洗，它的導(dǎo)熱系數(shù)也高，可以把設(shè)備的熱量及時(shí)地移走，不至于產(chǎn)生過(guò)熱，提高了設(shè)備的安全性。航空航天發(fā)動(dòng)機(jī)的燃料和氧化劑的輸送系統(tǒng)都需要有氦氣的密切參與。此外，宇宙飛船、液體燃料導(dǎo)彈等在加注燃料之前必須使用氦氣清洗和增壓，增壓里面的液氫罐和管道系統(tǒng)在太空艙上各種氣動(dòng)閥門(mén)的驅(qū)動(dòng)氣體也是氦氣。在核電領(lǐng)域，利用氦氣導(dǎo)熱系數(shù)高的特點(diǎn)，可以作為最先進(jìn)的氣冷式核反應(yīng)堆的冷卻介質(zhì)。氦氣在芯片和光纖的生產(chǎn)中也大有用武之地，利用它極不活潑的化學(xué)性質(zhì)可用作生產(chǎn)過(guò)程中的保護(hù)氣，利用它的高導(dǎo)熱性和散熱能力可以實(shí)現(xiàn)零部件的快速冷卻，提高生產(chǎn)效率，并減少芯片和光纖的質(zhì)量缺陷，每生產(chǎn)100公里的光纖就需要2個(gè)立方米的氦氣。毫不夸張地說(shuō)，如果沒(méi)有氦氣，醫(yī)院的核磁共振檢查將無(wú)法進(jìn)行，宇宙飛船也無(wú)法升空。
? ? ? ? 氦氣密度極小，地球引力不足以束縛它，因此氦在空氣中的含量?jī)H有百萬(wàn)分之4.6，所以用空分提氦是非常不經(jīng)濟(jì)的。氦氣還有一部分與天然氣伴生，儲(chǔ)藏在地殼深處，天然氣中氦的含量大約是空氣的幾十到上萬(wàn)倍，是我們目前氦氣最主要的來(lái)源。全球氦氣總儲(chǔ)量預(yù)估為484億立方米，分布非常不均勻，主要集中在美國(guó)、阿爾及利亞、俄羅斯等國(guó)家。其中，美國(guó)氦氣儲(chǔ)量大約171億立方米，全球占比高達(dá)40%，而我國(guó)的氦氣儲(chǔ)量只有2%，導(dǎo)致工業(yè)應(yīng)用中95%以上的氦氣都依靠進(jìn)口，而且我國(guó)天然氣中氦的含量很低，平均只有0.04%，是美國(guó)的1/20，所以提取技術(shù)難度更大，成本也會(huì)更高。這對(duì)我們國(guó)家的戰(zhàn)略安全構(gòu)成了極大的威脅。二戰(zhàn)期間，德國(guó)興登堡號(hào)飛艇爆炸就是氦氣資源受制于人的一個(gè)慘痛教訓(xùn)。
突破戰(zhàn)略氣體“卡脖子”危機(jī)
? ? ? ? 由于我國(guó)天然氣的含氦量比較低，美國(guó)廣泛采用的深冷法工藝并不適用我們。面對(duì)巨大的工業(yè)需求，要想避免氦氣被“卡脖子”，我們必須自力更生，結(jié)合自身特點(diǎn)開(kāi)發(fā)新的生產(chǎn)技術(shù)，自己生產(chǎn)氦氣。天然氣的成分比較復(fù)雜，除了甲烷，還有氮?dú)?、氫氣、二氧化碳、水蒸氣等，想要直接得到氦氣，就必須將膜分離、常溫變壓吸附、低溫吸附等新型分離技術(shù)和低溫精餾技術(shù)耦合起來(lái)并用。膜分離的原理和過(guò)濾非常相似，利用不同分子的大小差異讓小的分子通過(guò)，大的分子截留，氦氣的分子是最小的，可以通過(guò)膜孔，而甲烷的分子比較大，無(wú)法通過(guò)膜孔，因此可以用膜分離來(lái)對(duì)天然氣中的氦進(jìn)行初步的提濃，把含量從0.1%以下提到26%。吸附分離的關(guān)鍵，是通過(guò)采用對(duì)氮?dú)?、甲烷等雜質(zhì)氣體有比較強(qiáng)吸附能力和脫除能力的吸附劑，把氦氣的含量提高到99%，甚至99.999%以上。另一條比較經(jīng)濟(jì)的工藝路線(xiàn)，就是在生產(chǎn)液化天然氣（LNG）的同時(shí)利用其副產(chǎn)的閃蒸氣（BOG）來(lái)生產(chǎn)氦氣。氦氣的沸點(diǎn)低，在天然氣的液化過(guò)程中自然被富集到氣相當(dāng)中，從而得到提濃，有利于后續(xù)的加工。2020年國(guó)產(chǎn)首套BOG提氦裝置在寧夏鹽池成功示范運(yùn)行，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白；2021年在內(nèi)蒙古萬(wàn)瑞建成了年產(chǎn)50萬(wàn)方氦氣國(guó)內(nèi)最大的LNG聯(lián)產(chǎn)提氦裝置；2022年在重慶建成以低溫吸附為核心的LNG氦氣提純項(xiàng)目，可以年產(chǎn)99.999%的氦氣20噸以上。這些提氦裝置的開(kāi)發(fā)和投運(yùn)有效地緩解了我國(guó)氦氣供應(yīng)的緊張局面，也部分緩解了國(guó)家戰(zhàn)略氣體資源的“卡脖子”問(wèn)題。
? ? ? ? 未來(lái)，我們工業(yè)氣體要面向新型工業(yè)化建設(shè)的任務(wù)，聚焦高端化、智能化、綠色化，找準(zhǔn)“卡脖子”“掉鏈子”的薄弱環(huán)節(jié)，補(bǔ)短板、鍛長(zhǎng)板，提升產(chǎn)業(yè)體系自主可控能力，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新向原始創(chuàng)新和創(chuàng)新引領(lǐng)轉(zhuǎn)變，在新征程中順好工業(yè)這口“氣”，進(jìn)而揚(yáng)眉吐氣。
（任其龍，中國(guó)工程院院士，浙江大學(xué)教授）
來(lái)源：學(xué)習(xí)時(shí)報(bào)
喜報(bào) 黃河空分孫記章獲“河南省勞動(dòng)模范”榮譽(yù)稱(chēng)號(hào)
市上媒體看開(kāi)封（河南省科學(xué)技術(shù)廳）—開(kāi)封市加快科技成果轉(zhuǎn)化 服務(wù)企業(yè)創(chuàng)新發(fā)展需求
發(fā)布人：開(kāi)封市科學(xué)技術(shù)局 發(fā)布時(shí)間：2024-04-08
? ? ? ?近年來(lái)，開(kāi)封市科技局以“企業(yè)為主體、市場(chǎng)為導(dǎo)向、政策為引領(lǐng)”，著力完善創(chuàng)新鏈條，貫通產(chǎn)學(xué)研用，多措并舉推動(dòng)成果孵化轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化，助力新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展和現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)。
一是堅(jiān)持自主創(chuàng)新與開(kāi)放協(xié)同相結(jié)合。實(shí)施創(chuàng)新型企業(yè)梯次培育工程，打造“創(chuàng)新+營(yíng)商”雙優(yōu)環(huán)境，提升企業(yè)創(chuàng)新能力和核心競(jìng)爭(zhēng)力，高新技術(shù)企業(yè)、國(guó)家科技型中小企業(yè)數(shù)量連續(xù)三年保持20%左右增長(zhǎng)。舉辦中國(guó)科學(xué)院（河南）科技成果發(fā)布暨項(xiàng)目對(duì)接會(huì)、斯高心臟科學(xué)研究國(guó)際研討會(huì)等對(duì)接活動(dòng)，培育建設(shè)4家創(chuàng)新聯(lián)合體，提升科技成果域內(nèi)轉(zhuǎn)化效率。
二是堅(jiān)持企業(yè)需求與優(yōu)勢(shì)力量相結(jié)合。圍繞開(kāi)封“7+10+N”產(chǎn)業(yè)群鏈體系，建立關(guān)鍵核心技術(shù)和行業(yè)共性技術(shù)需求數(shù)據(jù)庫(kù)，精準(zhǔn)匹配科技成果。目前，已入庫(kù)技術(shù)需求100余項(xiàng)；出臺(tái)《開(kāi)封市重大科技專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施辦法（試行）》等，鼓勵(lì)在汴高校院所圍繞主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，橫向?qū)嵤┛萍加?jì)劃項(xiàng)目，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展科技供給能力，開(kāi)封測(cè)控、啟源研究院等企業(yè)聯(lián)合河南大學(xué)申報(bào)的項(xiàng)目列入全省重大（重點(diǎn)）科技專(zhuān)項(xiàng)。
三是堅(jiān)持政府引導(dǎo)與市場(chǎng)機(jī)制相結(jié)合。設(shè)立總規(guī)模2億元的政策性引導(dǎo)基金，重點(diǎn)支持種子期、初創(chuàng)期科技型企業(yè)開(kāi)展成果轉(zhuǎn)化。圍繞生物醫(yī)藥、儲(chǔ)能新材料等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，培育建設(shè)5家中試基地，面向社會(huì)提供中試熟化、小批量試生產(chǎn)等中試服務(wù)，促進(jìn)大中小企業(yè)融通發(fā)展。同時(shí)，引進(jìn)中部知光團(tuán)隊(duì)，建強(qiáng)專(zhuān)業(yè)化技術(shù)轉(zhuǎn)移人才隊(duì)伍，繁榮技術(shù)市場(chǎng)，2023年技術(shù)合同成交額突破30億元、增長(zhǎng)46%。
下一步，開(kāi)封市科技局將圍繞現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)重大需求，完善科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化機(jī)制，統(tǒng)籌推動(dòng)創(chuàng)新鏈產(chǎn)業(yè)鏈資金鏈人才鏈深度耦合，在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)、戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)、未來(lái)產(chǎn)業(yè)的重點(diǎn)領(lǐng)域加快重大科研成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，支撐產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)高級(jí)化、產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)代化，增強(qiáng)企業(yè)產(chǎn)業(yè)整體競(jìng)爭(zhēng)力。
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發(fā)布人：開(kāi)封市科學(xué)技術(shù)局 發(fā)布時(shí)間：2024-04-08
? ? ? ?近年來(lái)，開(kāi)封市科技局以“企業(yè)為主體、市場(chǎng)為導(dǎo)向、政策為引領(lǐng)”，著力完善創(chuàng)新鏈條，貫通產(chǎn)學(xué)研用，多措并舉推動(dòng)成果孵化轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化，助力新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展和現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)。
一是堅(jiān)持自主創(chuàng)新與開(kāi)放協(xié)同相結(jié)合。實(shí)施創(chuàng)新型企業(yè)梯次培育工程，打造“創(chuàng)新+營(yíng)商”雙優(yōu)環(huán)境，提升企業(yè)創(chuàng)新能力和核心競(jìng)爭(zhēng)力，高新技術(shù)企業(yè)、國(guó)家科技型中小企業(yè)數(shù)量連續(xù)三年保持20%左右增長(zhǎng)。舉辦中國(guó)科學(xué)院（河南）科技成果發(fā)布暨項(xiàng)目對(duì)接會(huì)、斯高心臟科學(xué)研究國(guó)際研討會(huì)等對(duì)接活動(dòng)，培育建設(shè)4家創(chuàng)新聯(lián)合體，提升科技成果域內(nèi)轉(zhuǎn)化效率。
二是堅(jiān)持企業(yè)需求與優(yōu)勢(shì)力量相結(jié)合。圍繞開(kāi)封“7+10+N”產(chǎn)業(yè)群鏈體系，建立關(guān)鍵核心技術(shù)和行業(yè)共性技術(shù)需求數(shù)據(jù)庫(kù)，精準(zhǔn)匹配科技成果。目前，已入庫(kù)技術(shù)需求100余項(xiàng)；出臺(tái)《開(kāi)封市重大科技專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施辦法（試行）》等，鼓勵(lì)在汴高校院所圍繞主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，橫向?qū)嵤┛萍加?jì)劃項(xiàng)目，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展科技供給能力，開(kāi)封測(cè)控、啟源研究院等企業(yè)聯(lián)合河南大學(xué)申報(bào)的項(xiàng)目列入全省重大（重點(diǎn)）科技專(zhuān)項(xiàng)。
三是堅(jiān)持政府引導(dǎo)與市場(chǎng)機(jī)制相結(jié)合。設(shè)立總規(guī)模2億元的政策性引導(dǎo)基金，重點(diǎn)支持種子期、初創(chuàng)期科技型企業(yè)開(kāi)展成果轉(zhuǎn)化。圍繞生物醫(yī)藥、儲(chǔ)能新材料等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，培育建設(shè)5家中試基地，面向社會(huì)提供中試熟化、小批量試生產(chǎn)等中試服務(wù)，促進(jìn)大中小企業(yè)融通發(fā)展。同時(shí)，引進(jìn)中部知光團(tuán)隊(duì)，建強(qiáng)專(zhuān)業(yè)化技術(shù)轉(zhuǎn)移人才隊(duì)伍，繁榮技術(shù)市場(chǎng)，2023年技術(shù)合同成交額突破30億元、增長(zhǎng)46%。
下一步，開(kāi)封市科技局將圍繞現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)重大需求，完善科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化機(jī)制，統(tǒng)籌推動(dòng)創(chuàng)新鏈產(chǎn)業(yè)鏈資金鏈人才鏈深度耦合，在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)、戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)、未來(lái)產(chǎn)業(yè)的重點(diǎn)領(lǐng)域加快重大科研成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，支撐產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)高級(jí)化、產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)代化，增強(qiáng)企業(yè)產(chǎn)業(yè)整體競(jìng)爭(zhēng)力。
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